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石墨烯專用生長爐
關 鍵 詞:石墨烯生長、材料制備
石墨烯專用生長爐由滑動開啟式真空管式爐,混氣系統,真空及壓力系統等組成。通過滑動爐體來實現快速的升降溫;配置不同的真空系統來達到理想的真空度;同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。
型       號:CVD-1200G
品       牌:上海鉅晶
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石墨烯專用生長爐由滑動開啟式真空管式爐,混氣系統,真空及壓力系統等組成。通過滑動爐體來實現快速的升降溫;配置不同的真空系統來達到理想的真空度;同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。

主要用途和適用范圍:

用于石墨烯生長、研發的專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。

技術參數:

爐體結構

雙層爐殼間配有風冷系統,有效保證外殼表面溫;

日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩

爐子可以手動從一端滑向另一端,實現快速的加熱和冷卻

支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料

電源

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4kw

爐管

高純石英管,高溫下化學穩定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數極小

尺寸:Φ40/60/80/100*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調節的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

加熱系統

加熱元件采用優質合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負荷高、經久耐用

加熱區長度:410mm

恒溫區長度:200mm

工作溫度:≤1150

最高溫度:1200

升溫速率:10/min

溫控系統

溫度控制采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能

30段升降溫程序

測溫元件:N型熱電偶

恒溫精度:±1

混氣系統

三路質量流量計:數字顯示、氣體流量自動控制

內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量

流量規格:0~1SLM

流量精度:±0.5%

真空系統

采用雙極旋片真空泵,真空度可達5x10-1 Torr

數顯式真空壓力表

可選高真空系統及真空計,壓力控制系統等

標準配置

主機1臺,密封法蘭1套,“O”型圈4個,石英管1根,管堵4個,坩堝鉤1把,

說明書、合格證、保修卡各1

可選配件

混氣系統,中、高真空系統,各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀等。


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